武漢普賽斯：60A CW /600A QCW大功率激光器老化測試系統解決方案

  ICC訊 大功率半導體激光器及大功率半導體激光器泵浦激光器在材料加工、激光打標、激光測距、激光存儲、激光顯 示、激光照明、激光醫療等民用領域，以及激光制導、激光夜視、激光武器等軍用領域得到廣泛應用。如何實現大功率 半導體激光器的可靠性及老化測試評價，包括對測試系統泵浦源的研究，一直以來都是學科熱點和國際制造研究的重要方向之一。

  為解決行業的痛難點問題，武漢普賽斯全新研發推出了千瓦級半導體激光器在線測試與老化系統，以及兼容CW及QCW的老化電源。產品可對每支老化器件的工作電流、工作電壓、輸出光功率等參數進行實時采集，并對熱沉溫度、冷卻循環水的流量、水溫進行實時監測，具有功能完備、可靠性高、性價比優的優點，可供大功率激光器的研制和應用單位推廣使用。

  激光器主要由泵浦源、增益介質、諧振腔組成。激光器可以根據泵浦方式分為電泵浦、化學泵浦、光泵浦、 氣動泵浦四大類，也可以根據增益介質分為液體激光器、氣體激光器、半導體激光器和固體激光器等。半導體激光器既可以單獨做為激光器使用，又同時可作為光纖激光器和固體激光器的泵浦源。使用半導體激光器做固體激光器泵浦源可以同時兼容固體激光器及半導體激光器的雙重優點：高光電轉換效率、高功率、高穩定性、高可靠性、壽命長、體積小，目前半導體激光器已逐步取代傳統的氪燈或氙燈，成為固體激光器的主要泵浦源，廣泛應用于材料加工、 醫療和科學研究領域。

  激光器工作時，由泵浦源向增益介質注入能量進行激勵，增益介質的電子受到能量激勵后發生能級躍遷，由基態躍遷至激發態，由于激發態相較于基態是非穩定狀態，電子會自發地回歸到基態，并放出光子。無數光子在諧振腔兩個斷面循環，往復運動，不斷疊加，最終輸出方向、頻率高度一致、高能量的激光束。

  大功率半導體激光器主要分為單管與bar條兩種結構，單管結構多采用寬條大光腔的設計，并增加了增益區域，以實現高功率輸出，減少腔面災變損傷;bar條結構為多個單管激光器的并聯線陣，多個激光器同時工作，再經過合束等手段實現高功率激光輸出。

  半導體激光器的典型封裝

  封裝對半導體激光器的作用：一是建立電流環路, 使芯片能受到電流的刺激而產生光(受激輻射光放大);二是散熱，解決芯片發光時產生的熱量;三是對芯片及電路起到保護的作用。按功用來分，半導體激光器的封裝類型有兩種,一是保護殼封裝,二是芯片封裝。芯片封裝主要有F - Mount型封裝 、 C-Mount型封裝等

  半導體激光器芯片測試的重要性與現狀

  激光器芯片的測試比較復雜，牽涉到光、電的測量，也要考慮封裝形式的區別。與同等功率水平的傳統固體激光器或氣體激光器相比，大功率激光器在光束質量、工作效率、結構體積、壽命和系統維護等方面具有明顯的優勢 。但與此同時，由于單顆芯片出光功率大，單位面積產生的熱量大，如果不做好散熱技術，將直接影響半導體激光器輸出功率、閾值電流密度、電光轉化效率、微分量子效率、偏振度等性能，并導致半導體激光器壽命和可靠性的下降，甚至會損毀芯片，最終影響器件可靠性。因此，在交付使用之前將激光器芯片置于高的溫度和電流等極端操作條件下進行壽命和可靠性實驗，淘汰早期失效器件并檢測出失效因素，在激光產業鏈發展中起著非常重要的作用。

  目前，大功率激光器芯片在大電流工作連續輸出 時普遍面臨著各種難點：

  1、激光器芯片的測量一般都要看LIV數據，光電參數受熱的影響比較大，隨著溫度的升高，芯片的閾值電流增加;

  2、激光器芯片直流、寬脈沖下的測試結果不準;

  3、大功率激光器抗浪涌沖擊能力差，要求脈沖電流無過沖，浪涌沖擊小;

  4、電源的波動會影響激光器的壽命，同時會造成光功率不穩定及器件發熱不穩定等。

  創新技術突破，國產化極優性價比

  激光器老化測試系統解決方案

  基于率先國產化數字源表(SMU)的技術開發實力，以及多年來產品覆蓋國際通信及半導體頭部用戶的認可和應用研究，武漢普賽斯針對千瓦級大功率半導體激光器芯片需要使用窄脈沖大電流測試和老化、芯片發熱嚴重等問題，創新開發推出一套通用性好、大功率、循環水冷的老化測試系統。產品具有大電流窄脈沖恒流特性好、電流穩定、抗干擾能力強，并具有防過沖、防反沖、反浪涌的穩壓及恒流的雙重保護電路等功能，為泵浦激光器的老化測試提供了一個完整的解決方案。實現多單元、高效率、自動監控并記錄上傳測試數據的一體化測試系統。

  靈活可拓展

  系統集成開發的設計實力

  激光器老化系統具有大批量激光器芯片測試的能力。器件裝載使用抽屜式結構，設備可以靈活擴展最高至4層結構，每層設計若干路，每路支持1-16只激光器芯片的串聯老化。系統包括高溫環境控制裝置、直流或脈沖驅動電源、收光裝置、光纖、光譜儀(選配)、循環水冷系統、定制夾具、溫度采集器及上位機等。實現上位機程序進行自動測試，自動采集半導體激光器驅動電流、激光器電壓、激光器光功率、環境溫度。經過上位機數據處理系統可以直接輸出數據采集表，提高半導體激光器老化及測試系統自動化程度，提高工作效率，減少人為干預。

  兼容CW及QCW模式

  脈沖恒流源的創新設計

  半導體激光器中，泵浦源驅動電路占據較大部分，對泵浦源驅動電源的電流要求相當高，要避免它承受超出范圍的正向電流，否則可能導致激光器芯片失效。這就要求恒流驅動方式而且必須低噪聲，另外恒流電路的設計紋波也需要相對偏小。驅動電源滿足二極管LD安全運行要求，避免激光器的核心PN結承受過大的反向電壓與擊穿損壞情況的出現;同時確保與二極管LD實現分流，合理規避反向浪涌所產生電流直接擊穿激光器，消除浪涌沖擊。

  經過多年對數字源表的系統研究與產品產業化的良好基礎，普賽斯泵浦激光器老化測試系統采用全新開發、自主設計的大電流脈沖恒流源，可以完美兼容CW模式以及QCW模式，支持直流恒流、直流掃描、脈沖直流、脈沖掃描等四種模式。驅動電源通過RS485接口控制，上位機設定輸出電流，并可讀出實際輸出值; 另外還可以一主多從的方式多臺串并聯，上位機只需控制主機，從機即可實現同步輸出。支持線性掃描、對數掃描及自定義掃描。

  針對大功率激光器芯片的老化與測試，普賽斯大電流脈沖恒流源工作在QCW模式下，目前可以提供高達600A的脈沖大電流，輸出電壓可高達100V，解決了傳統的開關電源方式很難在脈沖邊沿時間及脈沖紋波電流方面取得很好性能的問題，同時有效避免了芯片因瞬間電流大、自發熱帶來的器件損壞問題。

  針對大功率激光器泵浦源的老化與測試，可以在CW模式下輸出高至60A的電流驅動。驅動電流精度、回讀電流均可實現0.1%的精度，電流紋波小。多只器件串聯老化時，所有器件的工作電流一致，電壓自適應而互不干擾，即使發生某支器件短路情形，其余器件仍可正常繼續老化;如果發生斷路情況，則電流為0，老化終止，但不會損壞其余器件。

  收光裝置創新結構設計

  采樣大功率脈沖光信號

  傳統的激光光功率測試采用熱電堆，但是該傳感器響應速度慢，無法完成單個脈沖光功率測量。使用積分球+PD的方式可以解決高速光功率測試的問題。積分球多由金屬材料制成，內壁涂白色高漫反射層(通常是氧化鎂或硫酸鋇)，且球內壁各點漫反射均勻。水冷積分球是大功率激光器測試收光的最佳選擇，但是其成本非常高，而老化時需要使用的數量又多?；诖?，普賽斯采用創新結構的腔體收光裝置，類似積分球原理漫反射衰減光功率，通過PD進行光電轉換測量，可以有效避免激光直射擊穿收光裝置，同時保護PD。

  精確、高效、可調

  加熱及水冷散熱的溫控設計

  普賽斯采用水冷循環系統，通過流體對流換熱和熱傳導的方式來進行散熱。冷板采用導熱率較高的銅和鋁材料制備,發熱的電子器件緊貼在冷板表面,通過器件外殼、冷板表面、水這三部分形成良好的導熱路徑,最終將熱量傳遞給流動的循環水達到散熱的目的。系統可實時進行水流量的監控和報警提醒，確保激光器具有良好的熱流通道，實現千瓦級以上高功率的連續輸出。

  同時，大功率激光器老化測試系統還可滿足25～125 ℃的環境溫度的加熱與保持;選用耐高溫的印刷電路板作為治具的本體，配備大散熱面積的鋁合金熱沉，實現半導體激光器在老化及測試中處于熱平衡狀態，同時實現與半導體激光器驅動的電氣連接。

  上位機測試軟件

  為了滿足用戶的使用需求，普賽斯大功率激光器老化測試系統配有專用上位機軟件。在軟件中可直接設置多項測試參數，測試完成后軟件會自動計算出相關參數，以方便客戶實現快速測試，提高測試效率。

  武漢普賽斯為大功率半導體激光器的老化測試提供了一個完整的解決方案。欲了解更多系統方案詳情，請登錄武漢普賽斯儀表有限公司(www.whpssins.com)或關注普賽斯儀表官網微信公眾號(whpssins_com)。